基于SOC的微气压传感器研究

来源 :中国微米纳米技术第七届学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：whoelse

【摘要】

：

本文研究了基于SOC的微气压测试系统的工作原理,设计了基于集成温度传感器的微气压测试系统.以AD590为例,实现了微气压测试和系统的单片集成.测试结果表明,在恒功率加热模式下,系统在一定的气压范围(1～100kPa)内,对微小气压的响应具有良好的线性性质,易于实现信号处理电路和传感电路的单片集成.

【作者】

：

高仁璟唐祯安张凤田王海霞江胜峰

【机构】

：

大连理工大学,大连,116024

【出处】

：

中国微米纳米技术第七届学术年会

【发表日期】

：

2005年4期

【关键词】

：

微气压传感器微气压测试系统 SOC AD590 单片集成集成温度传感器

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