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用溅射Fe和电沉积Fe3O4先驱体硫化制备出FeS2薄膜，研究了不同先驱体对硫化过程和FeS2薄膜性能的影响．结果表明，两种先驱体结晶成的FeS2能够在一定程度上保留先驱体形貌特征．Fe生成FeS2的热力学驱动力比较高，虽然可能生成FeS的过渡相；Fe硫化生成的薄膜平整致密，晶粒生长比较充分，尺寸较大，其禁带宽度接近理论值．Fe3O4硫化生成FeS2的热力学驱动力较低，生成的薄膜表面疏松多孔，晶粒细小；薄膜的晶界等面缺陷比例较大和几何连续性较低使其电阻率较高、禁带宽度和载流子迁移率低于Fe膜硫化FeS2薄