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总结现有的单晶硅切片技术,全面分析比较内圆切片机切片技术、游离磨料线锯切片技术和固结磨料线锯切片技术的优缺点,认为固结磨料线锯切片技术是单晶硅切片技术的趋势;为了充分发挥固结磨料线锯切片技术的优势,提出了钎焊金刚石固结磨料线锯的新设想,并指出现阶段的研究热点为减少钎焊过程中线锯的热损伤。
单晶硅切片技术的研究进展
【摘 要】
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总结现有的单晶硅切片技术,全面分析比较内圆切片机切片技术、游离磨料线锯切片技术和固结磨料线锯切片技术的优缺点,认为固结磨料线锯切片技术是单晶硅切片技术的趋势;为了
【机 构】
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池州学院机电工程学院
【出 处】
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池州学院学报
【发表日期】
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2016年03期
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