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评论了半导体用超净试剂的应用、种类、作用、纯度、检测方法和市场。
半导体用超净试剂的种类和应用
【摘 要】
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评论了半导体用超净试剂的应用、种类、作用、纯度、检测方法和市场。
【机 构】
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无锡化工研究设计院,无锡化工研究设计院,214031
【出 处】
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化工时刊
【发表日期】
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1998年11期
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