【摘 要】
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硼磷硅玻璃膜（BPSG）是在等离子增强型化学汽相淀积（PECVD）系统中淀积的。在一个可容纳70个园片（片径100毫米）的淀积区内,膜厚度均匀性好于±5％、膜中掺杂量的变化低于±0.5％（重量）。具有保形台阶覆盖的淀积速率是200～300埃/分。本文概述了一种用离子色谱法来对掺杂物分析的新技术,也是作为用更通用的仪器进行快速无损分析的一种技术。最后,在本文中还表示了在各种掺杂浓度下低回流处理温度和
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硼磷硅玻璃膜（BPSG）是在等离子增强型化学汽相淀积（PECVD）系统中淀积的。在一个可容纳70个园片（片径100毫米）的淀积区内,膜厚度均匀性好于±5％、膜中掺杂量的变化低于±0.5％（重量）。具有保形台阶覆盖的淀积速率是200～300埃/分。本文概述了一种用离子色谱法来对掺杂物分析的新技术,也是作为用更通用的仪器进行快速无损分析的一种技术。最后,在本文中还表示了在各种掺杂浓度下低回流处理温度和回流角之函数关系。
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