【摘 要】
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微电铸工艺是太赫兹全金属光栅器件成型的关键工序。金属光栅质量取决于电铸工艺中金属离子沉积的均匀性,而电铸槽阴极附近电流密度的分布直接影响金属离子沉积的均匀性。在
【机 构】
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合肥工业大学光电技术研究院,合肥工业大学仪器科学与光电工程学院,中航光电科技股份有限公司,合肥工业大学电子科学与应用物理学院
【基金项目】
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国家自然科学基金项目(61501166).
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微电铸工艺是太赫兹全金属光栅器件成型的关键工序。金属光栅质量取决于电铸工艺中金属离子沉积的均匀性,而电铸槽阴极附近电流密度的分布直接影响金属离子沉积的均匀性。在阳极与阴极间添加开孔的绝缘玻璃挡板可以改善阴极电流密度分布的均匀性,研究了挡板与阴极的距离以及挡板开孔大小对阴极电流密度分布的影响,仿真结果表明:添加开孔绝缘挡板有助于改善阴极处的电流密度分布;当添加的玻璃挡板开孔大小与阴极尺寸一致时,挡板距离阴极越近,阴极的电流密度分布越均匀。根据仿真结果设计了相应的挡板,电铸工艺获得了较好质量的均匀金属层,从而
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