【摘 要】
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俄歇电子能谱 (AES)是测定固体表面元素组分的分析技术。由于AES具有很高的空间分辨率和表面灵敏度 ,并可以通过离子束溅射刻蚀获得组分深度剖面分布 ,所以它在各种材料 ,特
【机 构】
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俄歇电子能谱 (AES)是测定固体表面元素组分的分析技术。由于AES具有很高的空间分辨率和表面灵敏度 ,并可以通过离子束溅射刻蚀获得组分深度剖面分布 ,所以它在各种材料 ,特别是微电子材料、光电子材料和纳米薄膜材料的分析中应用广泛。文章详细地介绍了PHI595型多探针俄歇电子能谱仪及其在光电子材料分析中的应用
Auger Electron Spectroscopy (AES) is an analytical technique for determining the elemental composition of a solid surface. Because AES has high spatial resolution and surface sensitivity, and can be obtained by ion beam sputter etching component depth profile distribution, so it in a variety of materials, especially microelectronic materials, optoelectronic materials and nano-thin film material analysis In a wide range of applications. The paper introduces in detail the PHI595 multi-probe Auger electron spectrometer and its application in optoelectronic materials analysis
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