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为了进一步提高光学元件的线条制作精度，建立了极坐标激光直写时线条中心径向漂移的补偿模型。首先推导了极坐标激光直写的曝光量分布模型，分析了径向漂移产生的原因，然后针对数值孔径为0．5的光刻物镜建立了线条展宽模型和径向漂移模型，并分析了线条展宽和径向漂移的耦合关系，在此基础上分别建立了线条展宽补偿模型和径向漂移补偿模型。仿真结果表明，补偿前的径向漂移量是线条展宽量的3倍，对径向漂移进行补偿可以很好地减小系统原理误差，提高极坐标激光直写的制作精度。