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本文介绍了一种以半导体激光器作为光源，ＣＣＤ作为接收器件的光探针表在粗糙度测量仪，对仪器的测量原理，仪器的结构进行了讨论，用该仪器对标准样品进行了实际测量，得到了与实际相符的结果。
非接触表面粗糙度测量仪
【摘 要】
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本文介绍了一种以半导体激光器作为光源，ＣＣＤ作为接收器件的光探针表在粗糙度测量仪，对仪器的测量原理，仪器的结构进行了讨论，用该仪器对标准样品进行了实际测量，得到了与实际相符的结
【机 构】
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华中理工大学机械学院
【出 处】
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计量与测试技术
【发表日期】
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1998年6期
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