【摘 要】
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采用非平衡磁控溅射离子镀技术在M2工具钢和单晶Si表面沉积不同Y含量的CrAlYN纳米多层薄膜,并在静态空气中进行1000℃的高温氧化实验.透射电子显微镜、扫描电镜、X射线衍射、
【机 构】
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浙江工业大学材料科学与工程学院 杭州 310032衢州职业技术学院机电工程学院 衢州 324000;浙江工业大学材料科学与工程学院 杭州 310032;衢州职业技术学院机电工程学院 衢州 324000
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采用非平衡磁控溅射离子镀技术在M2工具钢和单晶Si表面沉积不同Y含量的CrAlYN纳米多层薄膜,并在静态空气中进行1000℃的高温氧化实验.透射电子显微镜、扫描电镜、X射线衍射、能量色散谱、纳米压痕和划痕实验等研究结果表明:CrAlYN纳米多层薄膜呈现fcc晶体结构,调制周期为CrN/YN+AlN/CrN/AlN.CrAlYN纳米多层薄膜的抗高温氧化性能随着Y含量提高呈现先提高后下降的趋势,Y含量为1.13%(原子比)时,薄膜表现出最优的力学性能,当Y含量增加到2.67%时,薄膜的力学性能明显下降.
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