【摘 要】
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采用上海光学仪器厂JDS-1型接触式干涉仪关键部件对卡尔·蔡司·耶拿[Carl Zeiss Jena]一米测长机进行改造将其原有测量精度提高一个数量级,改造后可用于3等量块100m
【机 构】
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北京新立机械有限责任公司检测校准实验室
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采用上海光学仪器厂JDS-1型接触式干涉仪关键部件对卡尔·蔡司·耶拿[Carl Zeiss Jena]一米测长机进行改造将其原有测量精度提高一个数量级,改造后可用于3等量块100mm以上到1000mm的高精度比较测量。本方法优点成本低,易于实现,读数直观可靠稳定,干涉管可根据需要定相应分辨率,光路全程均为光学器件,方法可逆,经济实用。
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