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用有限元方法分析超声调制电加工振动系统，探讨有、无负载时振动工具的动力学特性，通过ANSYS分析结果与理论计算值的比较，表明用有限元方法分析超声特性有较高精度；用ANSYS参数化方法设计、优化超声振动工具设计，通过振动系统的振动特性测试，验证了振动系统设计的合理性；通过微结构超声复合电解加工试验，证明超声调制电解方式加工难加工材料、异型面的技术优势。