基于静电耦合的PZT/BTO多层异质薄膜介电增强研究

来源 :中国陶瓷 | 被引量 : 0次 | 上传用户：abcd494895936

【摘要】

：

采用溶胶凝胶法制备了PbZr(0.52)Ti_0.45O₃/BaTiO₃(PZT/BTO)多层异质薄膜,讨论了保持总厚度相同的情况下,不同周期厚度对多层异质薄膜的铁电和介电性能的影响。研究表明,随着周期厚度的减薄,层数的增加,层间的晶格失配能有效改善薄膜的结晶度,促使薄膜形貌更加平整和均匀,并且有相对较低的损耗和漏电流密度。此外,由于层间极化失配产生的层间静电耦合效应,以及空间电荷极化的存在,PZT/BTO异质薄膜的介电、铁电性能随着周期厚度

【作者】

：

钟煌王歆卢振亚李心宏

【机构】

：

华南理工大学材料科学与工程学院

【出处】

：

中国陶瓷

【发表日期】

：

2021年7期

【关键词】

：

溶胶凝胶 PZT/BTO 周期厚度介电

【基金项目】

：

国家自然科学基金(U1601208,51577070),广东省自然科学基金资助项目(2019A1515012129)。

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