MEMS加速度计嵌入式批量自动化测试系统设计

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针对MEMS传感器人工测试、筛选存在的工作效率低、易出错等缺点,设计了一种MEMS电容式加速度计嵌入式自动化测试系统。系统主要由嵌入式多通道数据采集模块及上位机组成,两者通过USB接口进行通信。为提高测试效率,嵌入式数据采集模块采用微控制器控制4片菊花链方式级联的ADS1278,实现32通道模拟输出的同步采样。经测试,各通道有效分辨率均优于21bits,满足系统设计指标要求。应用虚拟仪器技术设计了应用软件。实测结果表明该系统可大大提高MEMS传感器测试、筛选的效率。
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