【摘 要】
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20 0 10 80 1 脉冲激光沉积SiC薄膜———PeltJS .ThinSolidFilms,2 0 0 0 ,371(1~ 2 ) :72 (英文 )脉冲激光沉积 (PLD)是一种可靠、经济的制备高温超导氧化物薄膜的方法 ,对比分析了PLD与其他薄膜沉积方法
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20 0 10 80 1 脉冲激光沉积SiC薄膜———PeltJS .ThinSolidFilms,2 0 0 0 ,371(1~ 2 ) :72 (英文 )脉冲激光沉积 (PLD)是一种可靠、经济的制备高温超导氧化物薄膜的方法 ,对比分析了PLD与其他薄膜沉积方法的区别。PLD方法比热丝蒸镀和CV
20 0 10 80 1 Pulsed laser deposition of SiC thin film --- PeltJS.ThinSolidFilms, 2000, 371 (1 ~ 2): 72 (English) Pulsed laser deposition (PLD) is a reliable and economical method for preparing high temperature superconductors Oxide thin film method, comparative analysis of PLD and other thin film deposition method difference. PLD method than hot wire evaporation and CV
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