应变异质结构中超薄中间层的应变协调作用

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：liongliong501

【摘要】

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用一个简单模型讨论了应变异质结构中嵌入中间层对界面失配位错产生和应变释放的影响.根据能量最小原理得到了弹性能最小状态下界面失配位错密度,发现当中间层材料的晶格常数

【出处】

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半导体学报

【发表日期】

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2004年期

【关键词】

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应变异质外延结构晶格失配可协变衬底失配位错

【基金项目】

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国家重点基础研究发展计划(973计划);

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用一个简单模型讨论了应变异质结构中嵌入中间层对界面失配位错产生和应变释放的影响.根据能量最小原理得到了弹性能最小状态下界面失配位错密度,发现当中间层材料的晶格常数比衬底和外延层的都大或者都小并且厚度足够薄时,超薄中间层可以完全吸收支撑衬底和外延层之间的应变而不产生任何界面失配位错,具有所谓无支撑衬底的应变协调作用.

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