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以醋酸锌为溶质、碳酸钠为钠源，采用溶胶-凝胶法在Si（100〉衬底上制备了钠掺杂ZnO薄膜，掺杂浓度分别为0，0．018，0．036，0．045，0．063和0．09mol／L。研究了钠掺杂后ZnO晶胞尺寸和表面形貌的变化规律，用霍尔效应仪测试了试样的载流子浓度及导电类型，分析了材料的拉曼光谱与试样内部缺陷浓度的关系。结果表明：Na^＋离子可进入ZnO晶格取代Zn^2＋，导致晶胞变大，同时ZnO薄膜由n-型转变为p-型导电；当Na^＋掺杂浓度达0．045mol／L时，其电阻率为75．7Ω·cm，