【摘 要】
：
分别采用原子层沉积（ALD）和磁控溅射法（MS）在Si和石英衬底上制备TiO2薄膜,并进行退火处理。利用X射线衍射仪（XRD）、扫描电子显微镜（SEM）、原子力显微镜（AFM）和紫外分光光度计对这两种方
【机 构】
：
东华大学环境科学与工程学院,中国科学院上海微系统与信息技术研究所
【基金项目】
：
国家自然科学基金（41471089）, 中央高校基本科研业务费
论文部分内容阅读
分别采用原子层沉积（ALD）和磁控溅射法（MS）在Si和石英衬底上制备TiO2薄膜,并进行退火处理。利用X射线衍射仪（XRD）、扫描电子显微镜（SEM）、原子力显微镜（AFM）和紫外分光光度计对这两种方法制备薄膜的晶型结构、表面形貌和光学特性进行分析对比。结果显示,对于沉积态TiO2薄膜,ALD-TiO2和MS-TiO2未能检测到TiO2衍射峰。ALD-TiO2为颗粒膜,其表面粗糙,颗粒尺寸大;MS-TiO2薄膜表面平整。经退火后,两种方法制备的TiO2薄膜能检测到锐钛矿A（101）衍射峰,但结晶质量不高
其他文献
电阻率法以地壳中不同岩、矿石及金属的电阻率差异为物性基础,通过观测、研究人工建立的稳定电流场的地下分布和变化规律以达到找矿、研究地质构造和寻找地下水的一种电法勘
2017年,国内棉花产量提高,棉花进口量增加,棉纱进口量持平略增,纺织品服装出口形势转好,储备棉投放成交水平保持高位;国内棉价高位震荡,国际棉价震荡上行。展望2018年,国内棉
作为具有特殊结构的绿色材料,多孔陶瓷在过滤器、催化剂载体和隔热材料等诸多方面有着广泛的应用。微米及亚微米孔径的多孔陶瓷,因其特殊的孔径尺寸,在应用和制备方面都有着
本文首先研究了Ti对Al-Ti合金与金刚石润湿性的影响,然后以不同Ti含量的Al-Ti合金为基体,加入金刚石,利用热压烧结制备没有和有金刚石铝基节块。测量了节块的抗弯强度并计算
目的观察美托洛尔联合胺碘酮对冠心病并心律失常的临床治疗价值.方法选取我院2016年1月~2017年12月接收的冠心病并心律失常患者78例为研究对象,随机分成对照组与观察组各39例
目的将米索前列醇联合催产素应用于疤痕子宫剖宫产的防治中,探讨其对患者产后出血的临床效果。方法选取2017年1月~2018年8月我院行剖宫产的疤痕子宫产妇112例,随机分为观察组
平煤集团七矿属大水矿井，每年仅排水一项就耗资巨大．给煤矿的经济发展和安全生产带来了极大的风险。为了彻底治理矿井水害，七矿采用瞬变电磁勘探技术．查明了地表水涌入矿井的三条
复地震道技术在石油物探的地震资料处理中应用相当成功，但在工程物探领域应用较少，或应用的效果不好。本文介绍这一技术的基本原理与算法，并将它应用到探地雷达公路探测、锚杆和
股权众筹自引入中国以来,其公开、小额、大众的特点迅速迎合了一些具有发展潜力的中小型农业企业的融资需求,这使得股权众筹在农业领域的发展备受关注。与其他领域股权众筹相