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为了实现对图像中TFT源漏极的快速定位和沟道尺寸的自动测量,采用基于图像特征点的图像识别方法。在识别过程中先采用图像处理的方法对图像进行优化,再采用多边形拟合的方法确定目标的边缘,并通过改进的角点检测方法对物体形状进行更精确的定位,从而实现了对TFT源漏极沟道尺寸的精确测量。经过实验验证,精度可达到0.02像素。