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基于有限元方法，以三点夹持为例，对压电薄膜变形镜(PFDM)的工作特性进行了仿真分析，发现变形镜与镜框之间因夹持带来的接触应力会导致镜面变形与电压之间呈现非线性变化。针对这一问题，提出了两种改进方式，仿真结果表明，两种改进方式均能够有效改善变形镜的非线性响应问题。
方口径压电薄膜变形镜夹持应力控制研究
【摘 要】
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基于有限元方法，以三点夹持为例，对压电薄膜变形镜(PFDM)的工作特性进行了仿真分析，发现变形镜与镜框之间因夹持带来的接触应力会导致镜面变形与电压之间呈现非线性变化。针对这一问题，提出了两种改进方式，仿真结果表明，两种改进方式均能够有效改善变形镜的非线性响应问题。
【机 构】
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中国工程物理研究院激光聚变研究中心,四川绵阳621900重庆大学机械工程学院,重庆400044
【出 处】
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激光与光电子学进展
【发表日期】
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2012年49期
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