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本文结合静电驱动扭臂式MOEMS光开关 ,给出了响应时间的计算方法 ,得出开关时间的计算公式 .分析了器件几何参数对开关时间的影响 ,给出了开关时间随参数的变化趋势 .通过优化结构给出一组几何参数 ,保证了驱动电压在 10V左右 ,开关时间可以达到 1至 2ms.
MOEMS光开关响应时间的分析计算
【摘 要】
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本文结合静电驱动扭臂式MOEMS光开关 ,给出了响应时间的计算方法 ,得出开关时间的计算公式 .分析了器件几何参数对开关时间的影响 ,给出了开关时间随参数的变化趋势 .通过优
【机 构】
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吉林大学集成光电子学国家重点实验室吉林大学实验区
【出 处】
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电子学报
【发表日期】
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2003年11期
【基金项目】
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跨世纪优秀人才培养计划基金 ;吉林省科技发展计划资助项目 (No .2 0 0 1 0 31 9) ;国家科技部“863计划”资助项目 (No .2 0 0 2AA31 2 0 2 0(2 3) )
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