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介绍了一种用于短小孔内表面圆度检测方法。提出基于激光共焦测距原理，应用旋转反射镜转化并消除径向跳动误差及传感器振动误差的新技术。成功地检测了标准孔径表面圆度，实验结果表明，该方法可以使小孔圆度检测误差不大于0.3μm，大大提高了小孔圆度检测的精度。
一种高精度小孔圆度检测方法研究
【摘 要】
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介绍了一种用于短小孔内表面圆度检测方法。提出基于激光共焦测距原理，应用旋转反射镜转化并消除径向跳动误差及传感器振动误差的新技术。成功地检测了标准孔径表面圆度，实验结
【机 构】
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长春理工大学光电工程学院
【出 处】
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长春理工大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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2014年1期
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