论文部分内容阅读
采用光刻法制备了薄膜晶体管的银源漏电极，实验中变换不同的刻蚀剂以减少对SiO2栅绝缘层的损害。底接触法蒸镀的酞菁铜作为晶体管器件的有源层，制得的晶体管器件的输出特性曲线显示该器件的输出电流具有趋于饱和的倾向。
光刻法制作源漏电极的薄膜晶体管
【摘 要】
：
采用光刻法制备了薄膜晶体管的银源漏电极，实验中变换不同的刻蚀剂以减少对SiO2栅绝缘层的损害。底接触法蒸镀的酞菁铜作为晶体管器件的有源层，制得的晶体管器件的输出特性曲线
【机 构】
：
五邑大学应用物理与材料学院,广州大学化学化工学院
【出 处】
：
广州化工
【发表日期】
：
2012年2期
其他文献
采用结构合理的水气同轴喷嘴可以解决气体保护内部水射流的问题，能有效提高水射流能力．通过数值模拟的方法对比3种典型的气喷嘴对水射流的影响，找出各喷嘴组合的主要缺点，经改进
通过不同结合面位置的7根“上再生下普通”的叠合梁对比试验，探讨和研究不同结合面位置对混凝土叠合梁斜截面受力和变形性能的影响．试验结果表明：随着结合面位置向受压区的靠近，
为提高活性TIG焊活性剂的涂敷效率,实验一种新型的活性TIG焊工艺电弧辅助活性TIG焊,简称AA-TIG焊.以SUS304不锈钢作为母材,采用耦合电弧进行AA-TIG焊,研究焊接电流、焊接速度
在煤中添加城市污泥，研究它对煤质活性焦吸附性能的影响。实验结果表明：随着城市污泥添加量的增加，活性焦的碘值、比表面积、微孔孔容均先增加后减小。当城市污泥添加量为5％时，活
对内包层为负折射率介质,纤芯和外包层都为常规材料的W型弱导双包层光纤进行研究.在不考虑材料色散和介质损耗的情况下,采用全矢量的方法,由亥姆霍兹方程出发得到严格精确的