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钼和钨常被用作功能材料,因为它们具有优良的高温抗蠕变性能和抗熔融石英腐蚀的能力。但是,它们自身仍存在着一些缺点,因为在导管中存在能发生加强腐蚀的区域或者出现耐熔金属的结晶体生长导致表面的破坏及石英产品的尺寸偏差。因此,笔者欲通过研究耐熔金属的涂层或合金化处理来寻求适当的改良它们性能的方法。