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本文采用色谱用六通阀，结合脉冲熔融-飞行时间质谱元素分析仪的气路流程，自制了应用于氧、氮、氢、氩联测的标气校准装置。实现了定量管冲洗和标气注入两个过程的灵活控制。通过该校准装置，建立了金属材料中的低含量氧、氮、氢和氩工作曲线，验证了校准装置分析的稳定性。采用建立的工作曲线对实际样品进行了分析，结果与认定值一致。标气校准装置的使用弥补了超低含量范围段标准样品缺乏的不足，解决了测氩用标准样品缺失的难题。实验结果表明，应用标气校准装置建立的工作曲线，线性良好，可用于金属材料实际样品的分析。