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主要研究了多层陶瓷双梁结构的超声驻波微电机。首先用有限元方法分析了该结构的振动模态，得到一适合电机运转的工作模式－电机定子的固有扭转模态。
多层压电陶瓷驻波超声微电机的研究
【摘 要】
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主要研究了多层陶瓷双梁结构的超声驻波微电机。首先用有限元方法分析了该结构的振动模态，得到一适合电机运转的工作模式－电机定子的固有扭转模态。
【机 构】
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清华大学
【出 处】
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微特电机
【发表日期】
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1997年4期
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