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TDR系列晶体生长设备速度跑合系统
TDR系列晶体生长设备速度跑合系统
来源 :电子工业专用设备 | 被引量 : 0次 | 上传用户:h123456p
【摘 要】
:
主要介绍一种TDR系列晶体生长设备速度跑合系统装置的开发目的、设计参数、装置结构以及技术特点。本装置为提高工程施工安装质量和全面落实企业产品按时,质量合格出厂的要求.
【作 者】
:
田召
【机 构】
:
西安理工大学晶体生长设备研究所
【出 处】
:
电子工业专用设备
【发表日期】
:
2008年2期
【关键词】
:
坩埚速度系统跑合
籽晶速度系统跑合
操作装置
检测报警装置
晶体生长设备
Operation installation
Testing alarm insta
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主要介绍一种TDR系列晶体生长设备速度跑合系统装置的开发目的、设计参数、装置结构以及技术特点。本装置为提高工程施工安装质量和全面落实企业产品按时,质量合格出厂的要求.提供了一种安全、可行的检测和跑合调试手段,以满足企业和市场的需要。
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