【摘 要】
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自由曲面光学器件尽管有其突出的优点,但还远不能进入到现代光学系统的主流中去,问题之一就是精密检测.自由曲面光学器件的检测对于其精密加工不可或缺,并且两者通常具有不可
【基金项目】
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国家重点基础研究发展计划(973计划)
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自由曲面光学器件尽管有其突出的优点,但还远不能进入到现代光学系统的主流中去,问题之一就是精密检测.自由曲面光学器件的检测对于其精密加工不可或缺,并且两者通常具有不可分割的联系.文中阐述了与不同加工阶段相关的自由曲面光学器件检测中的问题和对策.在抛光前后宜分别采用坐标测量机和光学干涉仪,两种方法都存在一些问题有待解决.实际上坐标测量方法是近十几年来自由曲面测量的主流,这方面的研究主要集中于定位、误差补偿及采样策略等问题上.相比之下,自由曲面光学器件的光学测试是一个新的技术,其中不仅是分析软件上的存在问题,首
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