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由于SIMOX SOI(氧离子注入隔离绝缘体上硅膜材料)能很好地满足当今的集成电路要求,并能同传统的集成电路制造兼容,它越来越广泛地用于集成电路(IC)的生产。本文介绍SIMOX的这些特性及其当前的应用。
适合集成电路电路生产的SIMOXSOI
【摘 要】
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由于SIMOX SOI(氧离子注入隔离绝缘体上硅膜材料)能很好地满足当今的集成电路要求,并能同传统的集成电路制造兼容,它越来越广泛地用于集成电路(IC)的生产。本文介绍SIMOX的这
【出 处】
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微电子学
【发表日期】
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1989年5期
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