基于0.25μm MS/RF CMOS工艺的光电单片集成接收机设计

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：jsrlzxd111

【摘要】

：

设计了一种单片集成的光电接收机芯片.在同一衬底上制作了基于同一工艺的光电二极管与接收机电路,以消除混合集成引入的寄生影响.这种单片集成接收机采用了先进的深亚微米MS/

【作者】

：

陈弘达高鹏毛陆虹黄家乐

【机构】

：

中国科学院半导体研究所,天津大学电子信息工程学院

【出处】

：

半导体学报

【发表日期】

：

2004年期

【关键词】

：

单片集成光电集成电路 CMOS工艺 monolithically integrated OEIC CMOS process

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设计了一种单片集成的光电接收机芯片.在同一衬底上制作了基于同一工艺的光电二极管与接收机电路,以消除混合集成引入的寄生影响.这种单片集成接收机采用了先进的深亚微米MS/RF(混合信号/射频)CMOS工艺,利用这种新型工艺提供的新技术对原有光电二极管进行了改进,使其部分性能显著改善,并对整个光电集成芯片性能的提高有所帮助.

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