【摘 要】
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中国随着现代化工业的发展出现了越来越多的洁净室,洁净室的温湿度控制正由结果控制向着过程控制进步.文章介绍了统计过程控制SPC的原理,并结合实际,提出了把sPc用在洁净室温
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中国随着现代化工业的发展出现了越来越多的洁净室,洁净室的温湿度控制正由结果控制向着过程控制进步.文章介绍了统计过程控制SPC的原理,并结合实际,提出了把sPc用在洁净室温湿度控制中的具体方法,对如何通过SPC界定温湿度异常进行了探讨,达到最终合理补偿的目的.
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