双路差分白光干涉谱数据处理的新方法

来源 :光电工程 | 被引量 : 19次 | 上传用户：kefamz

【摘要】

：

差分白光干涉法测量极薄金属带材厚度时,为了克服传统极值法在白光干涉谱数据处理中抗噪声能力差的缺点,提出了一种基于最小均方差(MMSE)意义下的小波变换处理方法。该方法首先对干涉谱测量值进行归一化处理,消除低频光强变化的影响,并用极值法求得光程差(OPD)的初值。然后求归一化后的干涉谱与基于初值的理想干涉谱之间的均方差,当干涉谱的光程差的某个估计值与实际值最接近时,对应的干涉谱的均方差最小。通过逼近

【作者】

：

杜艳丽杨静严惠民

【机构】

：

郑州大学物理工程学院电子科学技术系,浙江大学光电系国家光学仪器工程技术研究中心

【出处】

：

光电工程

【发表日期】

：

2009年05期

【关键词】

：

差分白光干涉双路干涉谱小波变换均方差数据处理信噪比 differential white light interferometry two-pat

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