【摘 要】
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本文介绍用激光散斑对比度测量工件表面粗糙度原理和方法。其测量范围为Ｒａ≤０． ０７２μｍ。一般 Ｒａ标准偏差为 ０． ００２μｍ，并可分辨国际中划分的各细分级粗糙度数值。本方法为非接触式测量，具有分辨
【机 构】
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西安交通大学,西安交通大学,西安交通大学
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本文介绍用激光散斑对比度测量工件表面粗糙度原理和方法。其测量范围为Ｒａ≤０． ０７２μｍ。一般 Ｒａ标准偏差为 ０． ００２μｍ，并可分辨国际中划分的各细分级粗糙度数值。本方法为非接触式测量，具有分辨率高、测速快、对外界光的干扰和振动不敏感的特点。
This article describes the laser speckle contrast measurement principle and method of surface roughness. The measurement range is Ra≤0. 072 μm. General Ra standard deviation of 0. 002μm, and can distinguish the international division of the fine grading roughness values. This method is non-contact measurement, with high resolution, fast speed, the external light interference and vibration are not sensitive to the characteristics.
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