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应用高压直流辉光放电等离子技术，改变氮化工艺参数，对316L奥氏体不锈钢进行表面渗氮处理。利用XRD衍射仪分析渗氮层的相组成，SEM观察氮化层厚度和结构，表面显微硬度计检测渗层的表面硬度，结果表明：当氮化温度T为400℃时，氮化层为单一的S-phase；当420℃≤T〈480℃时，氮化层为CrN＋S—phase两相混合；当温度为480℃时，S—phase衍射峰消失，仅出现CrN相；渗层厚度约为5～9μm，渗层深度随着温度和气压的升高而增加；表面显微硬度随着温度和气压的增加而增加，最高的表面显微硬度可达83