【摘 要】
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肖特基-p-i-n整流二极管（MPS）的作用机制比较复杂．采用数值模拟的方法研究MPS的工作机制，清晰地给出了肖特基势垒、p-n结势垒以及两种势垒共同作用下器件内部电势、载流子浓度分
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肖特基-p-i-n整流二极管（MPS）的作用机制比较复杂．采用数值模拟的方法研究MPS的工作机制，清晰地给出了肖特基势垒、p-n结势垒以及两种势垒共同作用下器件内部电势、载流子浓度分布和电压一电流特性．结果表明：在MPS阳极区（p^＋区）注入空穴的作用和肖特基势垒与p-n结势垒双重作用下，器件的电势将主要降低在肖特基结上；形成的电导调制区在饱和时变化很小，整个器件内电阻为准常数．
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