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微波加热过程中普遍存在电磁场能量分布均匀性差的问题，这将导致物料被非均匀加热，进而引发热点甚至热失控，制约了微波加热的推广。通过在玻璃内筒壁上加工凹弧面，利用凹弧面对微波具有多次漫反射的特点，提高电磁场分布的均匀性。在建模的基础上，利用HFSS软件仿真研究玻璃内筒壁上凹弧面参数对微波反应腔内电磁场分布的影响。研究表明，当凹弧面半径r=12mm时，在不牺牲加热效率的前提下，反应物料内微波场分布均匀性可提高10．7％。