【摘 要】
：
采用脉冲直流反应磁控溅射的方式在硅衬底上制备钼(Mo)电极。通过分析单一变量(如工艺真空度、气体流量等工艺参数)对Mo电极性能的影响,结合相关性实验设计规则,探究影响Mo电
【基金项目】
：
重庆市自然科学基金(cstc2017jcyjAX0237),863计划先进制造技术领域(2015AA042603).
论文部分内容阅读
采用脉冲直流反应磁控溅射的方式在硅衬底上制备钼(Mo)电极。通过分析单一变量(如工艺真空度、气体流量等工艺参数)对Mo电极性能的影响,结合相关性实验设计规则,探究影响Mo电极性能的关键因素,优化Mo电极制备工艺,对Mo电极薄膜的性能进行表征。实验结果表明:该实验过程简单直观、效率高,能使学生对半导体加工工艺的实验设计及工艺调控有直观体验,可满足微电子及仪器科学与技术等专业实验课程需要。同时,实验成果也可直接应用于微机电系统(MEMS)压电器件、大面积集成电路、软X射线反射元件等多个领域中。
其他文献
本文以美学原理为基础,从自然美、技术美、艺术美、社会美这几方面入手,对传统川西民居艺术审美取向进行了分析。
伴随着我国城市建设的快速发展,建筑工程的重点将逐渐的趋向于从大规模新建、转变为新建与维修共存的阶段;近些年来大量既有建筑物由于设计缺陷、施工质量不佳、自然灾害影响
从建筑工程的质量把控角度来说,做好施工监理和技术创新,均有着重要的意义。做好工程监理工作,有助于推动建筑施工技术的创新和优化;同时技术不断创新,也可以推动建筑工程监
建筑领域近年来的整体发展状态普遍比较良好,对建筑工程项目提出的要求也越来越高。建筑工程项目在规划和建设过程中,钢结构在其中具有非常重要的支撑和保障作用,会直接影响
110kV变电站的建设是一项重大工程,需要大量资金及技术作为支持,在110kV变电站中土建施工质量管理占据着重要的位置,土建施工质量的好坏决定着变电站运营状态,也直接影响着施
现因我国国民经济水平得到了提高社会的发展也不断进步,所以水利水电工程在现阶段的社会中以然得到了很大的发展。水利水电工程的管理问题的解决也得到了相应的改善。水利水
以0.1mol/L NH_3-0.1mol/L NH_4Cl为支持电解质,镍(Ⅱ)-组氨酸络合物在示波极谱仪上产生灵敏的还原波。峰电位-1.25V(vs.SCE)。峰电流与镍的浓度在5.0×10~(-8)～1.0×
12月28日，由北清智库商学院主办，一带一路投资联盟独家冠名的“2020北清智库（第五届）中国企业家年度峰会”在北京国际会议中心隆重举行。本届峰会以“大变局·新关系·全赋能·共发展”为主题，在总结过往一年的全球经济形势基础上，为新一年的行业、企业指明新的方向。 第十二届全国政协副主席马培华，北清智库商学院院长吴树江，优势资本创始合伙人吴克忠，著名经济学家魏杰，国务院国资委原监事会主席翟立功，国家
随着我国经济发展进入高速增长时期,我国的工程建设也随之增多,土地测量作为工程建设的标准,毋庸置疑的需要高速精准的技术。土地测量是国家和企业管理土地的重要内容,对工程建设有些重要的作用。土地测量工作为了可以有效的确定土地所属权和征收土地税款,需要较多并且较为精细的工作内容。在实际的具体操作中,由于工作性质会导致很多碎片化的内容,所以对测量的细致度很高。所以我们需要在工作时采取恰当的措施,而GPS就是