【摘 要】
：
介绍了自行设计的等离子体增强原子层沉积(PEALD)系统及其原位制备氮掺杂纳米TiO2可见光催化剂的实验结果.PEALD系统主要由远程脉冲感应耦合等离子体发生器、真空反应腔室、
【机 构】
：
浙江大学电气工程学院 杭州310027中国科学院微电子研究所微电子集成电路重点实验室 北京100029;嘉兴科民电子设备技术有限公司 嘉兴314006;浙江大学电气工程学院 杭州310027;嘉兴科民
论文部分内容阅读
介绍了自行设计的等离子体增强原子层沉积(PEALD)系统及其原位制备氮掺杂纳米TiO2可见光催化剂的实验结果.PEALD系统主要由远程脉冲感应耦合等离子体发生器、真空反应腔室、真空系统、前驱体输运系统、控制系统等部分组成.沉积过程中前驱体的交替、等离子体的产生、样品台温度、载气流量、沉积周期等参数都可以预先设定并由控制系统自动执行.在研制的PEALD系统上首次开展原位氮掺杂纳米TiO2光催化剂的制备,高分辨透射电镜结果表明制备的氮掺杂TiO2薄膜为非晶态结构,薄膜厚度为3nm,生长速率为0.05 nm/cycle;X射线光电子能谱结果表明N元素掺入到了制备的TiO2薄膜,并取代了TiO2薄膜中的O元素;紫外-可见光谱表明制备的氮掺杂TiO2薄膜对可见光的吸收率明显增强.
其他文献
欧洲花楸组织培养快繁中每年的6-9月污染率最高。调查相关因素结果发现,污染率和制作培养基过程中的玻璃瓶清洁状况,瓶口摩擦状况和用水有关;但是与灭菌锅消毒过程中0.05MPA
介绍某造纸污水处理厂污泥膨胀的情况并采取相应的解决措施,取得良好效果.
应用福建省呢方森林资源连续清查体系所提供的“七五”、““八五”、“九五”期间三次闽江流域森林资源现状、特点和动态变化规律，提出了问江流域源头水土保持林与水源涵养保
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥
又一个“五一”长假黄金周即将到来,新一轮假日消费热潮又即将开始.商家们自会抓住这一有利时机,大打促销牌,使出种种招数吸引消费者.假日的氛围和商家的促销,常令消费者眼热
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥
在北京 CBD核心区域，一片52万平方米的地下空间正在建设之中。据了解，这是北京目前开挖深度最深、面积最大的地下工程项目。核心区内的19幢高层楼宇可以从地下连通，实现多条地铁
随着城市建设的发展、高楼大厦一幢又一幢像雨后春笋一样拔地而起.各种用电设备种类、数量越来越多,因而建筑电气设计质量显得越来越重要,除了满足商务、住宅使用功能外,用电
实施西部大开发战略是21世纪我国经济发展的必然取向.但西北地区脆弱的生态环境制约着大规模经济开发活动的进行.加强生态环境基础建设,是实现可持续发展和大开发战略的核心