【摘 要】
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为开发光电纳米结构功能纺织品,采用磁控溅射技术在丙纶非织造布上制备掺铝氧化锌（AZO）薄膜,并对AZO膜进行原子力显微镜（AFM）表征,分析不同工艺参数对AZO薄膜结构以及AZO的导电性
【机 构】
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安徽工程科技学院省纺织面料重点实验室
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为开发光电纳米结构功能纺织品,采用磁控溅射技术在丙纶非织造布上制备掺铝氧化锌（AZO）薄膜,并对AZO膜进行原子力显微镜（AFM）表征,分析不同工艺参数对AZO薄膜结构以及AZO的导电性能和抗紫外线性能的影响。结果表明：颗粒直径随着压强增大而增大,当压强增大到一定程度后,颗粒直径逐渐变小;颗粒直径随着功率增加而增大,但继续增加,薄膜的均匀性将变差,表面变得粗糙,但导电性能提高;溅射时间的延长能改善薄膜的均匀性和致密性。在溅射压强为0.5 Pa,溅射功率为120 W,溅射时间为60 min时,AZO薄膜的均
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