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平晶主要用于检测工作面的平面度、直线度及研和性等参数。目前常用等厚干涉仪配合标准平晶对工作平晶平面度进行检测,此种方法的不足是影响检测结果的因素较多,且效率不高。本文介绍了无应力平面检测干涉仪检测平晶平面度的方法,通过比较体现了其可靠性及优势。
无应力平面检测干涉仪在平晶检测中的应用
【摘 要】
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平晶主要用于检测工作面的平面度、直线度及研和性等参数。目前常用等厚干涉仪配合标准平晶对工作平晶平面度进行检测,此种方法的不足是影响检测结果的因素较多,且效率不高。
【机 构】
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苏州市计量测试院
【出 处】
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仪器仪表标准化与计量
【发表日期】
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2018年6期
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