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真空镀膜装备检漏系统的设计与分析
真空镀膜装备检漏系统的设计与分析
来源 :中国玻璃 | 被引量 : 0次 | 上传用户:oliversong
【摘 要】
:
对玻璃改性工艺用真空镀膜装备进行分析,设计了真空镀膜装备检漏系统;通过该检漏系统可实现对真空腔体的检漏工作,确保了镀膜工艺的真空度要求。同时,分析了漏孔形成的原因,并提出
【作 者】
:
罗松松
【机 构】
:
凯盛重工有限公司
【出 处】
:
中国玻璃
【发表日期】
:
2017年2期
【关键词】
:
真空镀膜
检漏
气密焊
Vacuum Coating
Leak Detection
Pressure - Tight Welding
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对玻璃改性工艺用真空镀膜装备进行分析,设计了真空镀膜装备检漏系统;通过该检漏系统可实现对真空腔体的检漏工作,确保了镀膜工艺的真空度要求。同时,分析了漏孔形成的原因,并提出具体的解决方案,对后续真空镀膜装备的设计和使用提供了依据。
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