真空镀膜装备检漏系统的设计与分析

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对玻璃改性工艺用真空镀膜装备进行分析,设计了真空镀膜装备检漏系统;通过该检漏系统可实现对真空腔体的检漏工作,确保了镀膜工艺的真空度要求。同时,分析了漏孔形成的原因,并提出具体的解决方案,对后续真空镀膜装备的设计和使用提供了依据。
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