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期刊论文
GaAs衬底上立方GaN的低温生长
GaAs衬底上立方GaN的低温生长
来源 :稀有金属 | 被引量 : 0次 | 上传用户:robinchen
【摘 要】
:
研究了以(001)GaAs为衬底的用ECRPAMOCVD法生长的立方GaN薄膜的主要性质,阐述了实验过程与生长用设备。在生长过程中,衬底温度约为600℃,反应器内压力约04Pa。
【作 者】
:
顾彪
徐茵
秦福文
丛吉远
张砚臣
孙捷
【机 构】
:
大连理工大学电磁工程系
【出 处】
:
稀有金属
【发表日期】
:
1998年02期
【关键词】
:
立方GaN
低温生长
活化氮源
ECR-PAMOCVD
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研究了以(001)GaAs为衬底的用ECRPAMOCVD法生长的立方GaN薄膜的主要性质,阐述了实验过程与生长用设备。在生长过程中,衬底温度约为600℃,反应器内压力约04Pa。
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