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溶胶-凝胶法Er2O3薄膜的结构和光学特性

来源 :光子学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：eastphoto

【摘 要】

：

针对稀土Er掺杂Si光源中Er离子掺杂浓度低的问题,采用溶胶-凝胶（Sol-gel）法在Si（100）和SiO2/Si（100）基片上旋涂法制备Er2O3光学薄膜,Er离子浓度与以前掺杂方法相比提高了2个数量级.

【作 者】

：

王兴军 董斌 周治平 

【机 构】

：

北京大学区域光纤通信网与新型光通信系统国家重点实验室,大连民族学院理学院光电子技术研究所

【出 处】

：

光子学报

【发表日期】

：

2010年7期

【关键词】

：

发光学 光学薄膜 溶胶-凝胶法 氧化铒 Luminescence  Optical films  Sol-gel method  Er2O3 

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针对稀土Er掺杂Si光源中Er离子掺杂浓度低的问题,采用溶胶-凝胶（Sol-gel）法在Si（100）和SiO2/Si（100）基片上旋涂法制备Er2O3光学薄膜,Er离子浓度与以前掺杂方法相比提高了2个数量级.900℃热处理获得单一立方结构的Er2O3薄膜材料.光致发光（PL）特性研究表明在654nm波长的激光泵浦下,Er2O3薄膜材料获得了1.535μm的发光峰,并具有较小的温度猝灭1/5.在SiO2/Si（100）基体上制备的Er2O3薄膜材料的光致发光强度比Si（100）基体上制备的薄膜提高2-3

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