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使用磁控溅射法在生物医用NiTi合金基体表面制备了Ti／TiN、Ti／DLC以及Ti／CNx梯度薄膜，利用扫描电镜研究了薄膜的截面形貌，并使用划痕仪及摩擦磨损仪研究比较了薄膜的力学性能。结果表明：薄膜均表面平整，与基底结合紧密。Ti／CNx薄膜与NiTi合金基底的结合力大于Ti／DLC薄膜，略低于Ti／TiN薄膜。3种梯度薄膜均能有效改善NiTi合金的耐磨损性能，其中，Ti／CNx薄膜拥有最低的摩擦系数和最完整的磨损表面，耐磨性最好。