论文部分内容阅读
通过理论分析计算获得了光伏型InSb红外探测器的的优化掺杂浓度及结深。利用LSS理论估算了Be^＋注入InSb的射程及标准偏差，同时设计了与优化掺杂浓度及结深相对应的注入条件。实验所得典型的R0A为值4．7×10^3～3×10^3Ω·cm^2，量子效率为0．65-0．7之间。实验R0A值及量子效率与理论结果基本吻合。此工作对离子注入工艺有一定的参考价值。