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<正> 三、掺杂用化学品集成电路制造中,将元素周期表中ⅢA族杂质原子掺入硅片表面就形成P型(受主型)导电层,将V A族杂质原子掺入硅片表面层就形成N型(施主型)导电层。(一)硼(P型)杂质源1.三氧化二硼无色透明粉末,硬而脆,熔点450℃,沸点1500℃以上。微有苦
制造集成电路用的化学品（上）
【摘 要】
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<正> 三、掺杂用化学品集成电路制造中,将元素周期表中ⅢA族杂质原子掺入硅片表面就形成P型(受主型)导电层,将V A族杂质原子掺入硅片表面层就形成N型(施主型)导电层。(一)硼(
【机 构】
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东南大学化学化工系
【出 处】
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化工时刊
【发表日期】
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1990年9期
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