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带有气动振动隔离器的光学台在科研和高精度加工中有着广泛的应用.光学台的基础部分一般由一个三明治式的结构组成,即两个面板和一个轻型蜂窝式结构的芯.高刚度-重量比是光学台的主要优点.
下一代自动调谐光学台
【摘 要】
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带有气动振动隔离器的光学台在科研和高精度加工中有着广泛的应用.光学台的基础部分一般由一个三明治式的结构组成,即两个面板和一个轻型蜂窝式结构的芯.高刚度-重量比是光学
【出 处】
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光机电信息
【发表日期】
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2005年11期
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