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WC直流磁控溅射法表面镀铬研究
WC直流磁控溅射法表面镀铬研究
来源 :热加工工艺 | 被引量 : 0次 | 上传用户:AAA0662AAA
【摘 要】
:
采用直流磁控溅射技术在WC微粒表面包覆一层Cr膜,通过光学显微镜和X射线衍射仪(XRD)观察分析Cr膜的厚度和粉末的成分,其结果表明:合理的工艺参数控制,可以获得厚3~5μm,均匀、
【作 者】
:
董志红
范洪远
【机 构】
:
四川大学材料成型系
【出 处】
:
热加工工艺
【发表日期】
:
2005年11期
【关键词】
:
直流磁控溅射
WC微粒
Cr膜
D C magnetron sputtering WC particles Cr films
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采用直流磁控溅射技术在WC微粒表面包覆一层Cr膜,通过光学显微镜和X射线衍射仪(XRD)观察分析Cr膜的厚度和粉末的成分,其结果表明:合理的工艺参数控制,可以获得厚3~5μm,均匀、完整的Cr膜,微粒中Cr的成分明显提高,这对WC微粒在高温工艺使用上,提高其磨损性能有很大的帮助.
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