SiOxNy薄膜退火过程中N元素的流失对于Si结晶的影响

来源 :实验技术与管理 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zxf3896641
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
通过不同的溅射工艺制得了3组SiOxNy薄膜样品,并进行了不同的退火工艺。在退火后的样品分析结果中发现了薄膜中的N流失现象,并且对N流失促进了Si结晶的这种特点进行了分析和讨论,为今后利用N流失现象进行S i纳米量子点的制备提供了实验和理论依据。
其他文献
培养高素质的人才必须要有高素质的教师。教师的师德状况不仅反映教师队伍素质的高低,而且对学校的学风、校风以及整个教育的质量均有着最为直接的影响。本文就新时期普通高校
结合农林高校化学实验教学特点,以化学实验技术为主线,对基础化学实验课程从课程体系、教学内容、教学方法和手段以及开放实验室的运作方法等方面进行整合研究和改革实践,取得了
【正】增强学生体质、增进学生健康是高等学校体育教学的重要任务之一.了解掌握学生当前体质状况,可为普通高校体育课程建设提供依据和参考,也是培养跨世纪高素质人才的需要.
如何在农业生产过程中科学管理水资源是目前国际上研究的诸多热点之一,土地精准平整在节水方面具有很大潜力。高质量的精准土地平整工作不仅可以有效改善农田微地表,使肥料更
在美国,体育与竞技运动是两个不同的领域,但彼此又密切联系。文章从美国学术界的角度粗略地叙述和讨论了体育与竞技运动的基本概念,以及两者的不同与联系之处。
采用J2EE技术建立一个基于Web的公共教学平台,具有课程开发、在线学习、智能答疑与课程辅导、作业管理、网络存储、网络考试、毕业设计管理等功能,可实现教与学的全过程管理和
本文结合企业家创新行为与激励性股票期权的关系,通过建立一个将合约期分为二个阶段的激励性股票期权模型分析,论述了实施激励性股票期权对企业发展的作用以及完善激励性股票
中国近代外商广告是伴随着外资企业进入中国而产生发展的.广告作为近代工商业有效的营销手段,为外商所充分认识和广泛利用,并在近代特殊的历史环境下形成特色.英美烟公司是近
长尾粗叶木(Lasianthus acuminatissimus)为是茜草科(Rubiaceae)粗叶木属(Lasianthus)植物,多分布于广东、广西、湖南、贵州等省。其根俗称“铁骨人参”,民间多用于治疗风湿性关节痛、腰肌劳损、跌打损伤等,《全国中草药汇编》记载其功效为“祛湿强筋,行气活血,止痛,主治风湿性关节痛,跌打损伤,腰肌劳损”[1]。本课题对长尾粗叶木(Lasianthus acumi
本文结合作者在双语教学过程中的实践和体会,指出了双语教学的可行性和必要性,继而对双语教学模式进行了深入实际的探讨,并着重指出双语教学不可忽视的几个重要因素,结合实例