【摘 要】
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为了探究氧化层对金属薄膜表面等离子体共振（SPR）特性的调制作用,实验采用直流磁控溅射技术,通过控制沉积功率和沉积时间制备不同厚度的金属铝基薄膜,而后调控退火时间和温度得
【机 构】
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上海理工大学光电信息与计算机工程学院,上海市现代光学系统重点实验室教育部光学仪器与系统工程中心
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为了探究氧化层对金属薄膜表面等离子体共振（SPR）特性的调制作用,实验采用直流磁控溅射技术,通过控制沉积功率和沉积时间制备不同厚度的金属铝基薄膜,而后调控退火时间和温度得到相应的铝/氧化铝（Al/Al203）复合薄膜。采用X射线衍射仪（XRD）、原子力显微镜（AFM）、紫外-可见-近红外分光光度计及拉曼光谱仪分别表征样品的结构、表面形貌及SPR特性。XRD测试结果表明,随着金属铝基薄膜厚度的增加,Al/Al203复合薄膜由非晶态转变为较低表面能方向择优生长,薄膜结晶质量提高。其吸收光谱在220 nm附近处
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